Nga miihini e whakaatu ana: Ko te makutu i muri i te whakangao semiconductor
I roto i te ao whanui o te whakangao semiconductor, ko nga miihini o te miihini - ko nga tohunga makutu e tuku ana i nga tauira maamaa iti ki te aukati i nga raihi silicon me te tino kore. Ko tenei hangarau Lithographic tetahi o nga takahanga tino uaua me te taapiri i roto i te papanga tuuturu (iC), e awe ana i te mahinga me te pono o nga maramara hiko. Kia tukuna ki roto i nga mahi, nga momo, me nga tikanga o nga miihini lithigraphy i roto i nga hangarau hou.
Me pehea te mahi a nga miihini lithices
I te ngakau o te miihini maamaa e whakaatu ana i te kaha ki te whakawhiti i nga hoahoa huri noa i runga i te kaimekemeke a Silicon i pania ki te whakaahua whakaahua ma te whakaahua. Ko tenei mahi he maha nga waahanga matua:
1. Ko tenei pea te tohu hei taapiri, ahakoa kei runga i te tauine iti ake, kei te heke iho nga rahi ki nga nanooters.
2.
3. Whakaputa: Ma te whakamahi i tetahi puranga o te maama, te miihini o te miihini i te tauira mai i te karu ki te apa whakaahua. Ko nga waahi kaore i tiakina e te kanohi e pa ana ki nga whakarereketanga matū na te maaramatanga o te marama.
4
5
Nga momo o nga miihini lithips
Ko nga miihini lithigraphy e haere mai ana i roto i nga momo ahua, ia i arotau mo nga waahanga rereke o te hanga maramara:
Tapahi Korero: Ka whakamahia e ia te kanohi e tata ana ki te kaihoroi kaore e pa ana, ka taea te whakarereke i te tauira kia tuhia.
Whakapā mai: Kei te whakauru i te kanohi ki te kaihopu whakaahua-a-tuhi, te whakawhiti i te tauira ma te whakapā atu.
Stepper me Scanner Litner: Ko enei miihini matatau ka whakamahi i te riipene whakahekehia hei hanga i nga kape o te karu, ki te tirotiro ranei i te kanohi kanohi me te kaitirotiro.
Euv Lithography (Ko te hangarau hou i roto i te maramarama, ma te whakamahi i te EUV ki te whakatutuki i nga whakataunga i te tauine-10nm e whai ake nei, he mea nui mo te hanga microprocessercessers o muri.
Tikanga o te hangarau hou hou
Ko nga miihini lithigraphy he mea nui ki te ahu whakamua o te hangarau semiconductor, e taea ai te whakamahi i te iti o nga waahanga hiko me te whanaketanga o te kaha kaha, me nga taputapu hiko. Ko te tono mo te nui ake o te mahinga me te tipu haere tonu, na reira ko te mea nui o enei miihini ngawari ki te pana i nga rohe o nga mea e taea ana i te Hanganga Hiko.
Ko te whanaketanga o nga miihini litoography he rite ki te ahunga whakamua o te umanga semiconductor, he mahi hou te taraiwa i nga mara i te hikohiko ki te torotoro haere. Kaore e taea te kaha o te mahi i roto i te papanga o te ahunga whakamua hangarau hou, te mahi hei toa unsung i muri o nga ahuatanga o te ao mamati e noho ana matou i tenei ra.
