Экспозиция автоматтары: жартылай өткізгішті шығаратын сиқыр
Жартылай өткізгіштің күрделі әлемінде, литография машиналары сиқыршылар ретінде, минускула тізбегін кремникон вафлиіне теңестіретін силиктер тізбегін алып тастайды. Бұл литографиялық технология - бұл интеграцияланған тізбектелген және сыни қадамдардың бірі, ал электронды чиптердің жұмысы мен сенімділігіне тікелей әсер етеді. Заманауи технологиялардағы литографиялық машиналардың жұмысына, түрлеріне және маңыздылығын, олардың түрлерін және маңыздылығын білейік.
Литографиялық машиналар қалай жұмыс істейді
Литография машинасының жүрегінде күрделі тізбек конструкцияларын фоторолартография арқылы фоторезистпен қапталған кремний вафонына ауыстыру мүмкіндігі жатыр. Бұл процесс бірнеше маңызды қадамдарды қамтиды:
1 Бұл маска өте қарапайым минуттық масштабта болса да, жоспар ретінде қызмет етеді, онда мүмкіндік өлшемдері нанометрлерге жетеді.
2
3. Экспозиция: Жарықтың белгілі бір толқын ұзындығын пайдалану, литографиялық машина маскадан маскадан фоторезист қабатына жобаланады. Маска қорғалған жерлер жарық әсерінен химиялық өзгерістерден өтеді.
4. Дамыту: әсерден кейін, тізбек дизайнының рельефті бейнесін қалдырып, фоторезисттің өзгертілген бөліктерін жою үшін әзірлеуші шешімі қолданылады.
5
Литография машиналарының түрлері
Литография машиналары әртүрлі нысандарда келеді, олардың әрқайсысы чип өндірісінің әртүрлі кезеңдеріне оңтайландырылған:
Жақындық литография: Ықтимал орналастырылған масканы тікелей байланыссыз, үлгіні дифракция арқылы басуға мүмкіндік береді.
Литографиямен байланыс: масканы фоторесистік қапталған вафлиге тікелей басу, контакт арқылы өрнекті жіберіңіз.
Стептер және сканер литографиясы: Бұл жетілдірілген машиналар Қайта қайталау сәнінің көмегімен маска үлгісінің бірнеше көшірмесін жасау үшін азайтылған проекциялық линзаларды пайдаланады, сонымен қатар, қадам және маска мен вафли (сканер).
EUV литографиясы (экстремалды ультракүлгін): литографиядағы ең жаңа технология, EUV Light-тің соңғы технологиясы, келесі буынды микропроцессорлар өндірісі үшін қажет.
Қазіргі заманғы технологиядағы маңызы
Литография машиналары электронды компоненттерді миниатюризациялауға және қуатты, тиімді және үнемді электрондық құрылғыларды жасауға мүмкіндік беретін жартылай өткізгіш технологияның ілгерілеуінде айналымға жатады. Жоғары тиімділікке деген сұраныс және кішігірім формадағы факторлар өсіп келе жатқандықтан, электроника өндірісінде мүмкін, осы күрделі машиналардың шекараларын итермелеудің маңыздылығы.
Литография машиналарының эволюциясы жартылай өткізгіш өнеркәсіптің ілгерілеуімен синоним болып табылады, бұл ғарыштық барлауға дейін тұтынушы электроникадан бастап далалардағы далалардағы инновациялар. Олардың рөлін қазіргі заманғы технологиялық жетістіктер матасында асыра тиіс, біз бүгінгі таңда біз тұратын сандық әлемді құрудағы сахналық кейіпкерлер ретінде қызмет ете алмайтын.
