ការផលិតបន្ទះសៀគ្វីកុំព្យូទ័រ

ម៉ាស៊ីនប៉ះពាល់: វេទមន្តនៅពីក្រោយការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

នៅក្នុងពិភពដ៏ស្មុគស្មាញនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក, ប្រព័ន្ធលីចូសឈរជាអាបធ្មប់, អក្ខរាវិរុទ្ធដែលបានបញ្ចូលលំនាំសៀគ្វីមីនមីនចូលស៊ីលីខនជាមួយភាពជាក់លាក់ដែលមិនមានភាពជាក់លាក់។ បច្ចេកវិទ្យា Lithographic នេះគឺជាសកម្មភាពដ៏ស្មុគស្មាញនិងសំខាន់មួយនៅក្នុងការប្រឌិតសមូហភាពដែលមានឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ដែលជះឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើការអនុវត្តនិងភាពជឿជាក់នៃឈីបអេឡិចត្រូនិច។ តោះស្វែងយល់ពីការងារប្រភេទនិងសារៈសំខាន់នៃម៉ាស៊ីនលីចូចក្នុងបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។

របៀបដែលការងាររបស់ Lithography ដំណើរការ

នៅចំកណ្តាលនៃម៉ាស៊ីនលីចូមគឺជាសមត្ថភាពក្នុងការផ្ទេរការរចនាម៉ូដសៀគ្វីដែលមានភាពស្មុគស្មាញទៅលើ Silicon Wafer មួយដែលមានការចាប់អារម្មណ៍ជាមួយនឹងអ្នកថតរូបតាមរយៈ Photolithography ។ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងជំហានសំខាន់ៗមួយចំនួន:

1 ។ ការត្រៀមប្រឡាង: ការបញ្ជូនថ្នាំបិទភ្ជាប់ឬរបាំងត្រូវបានរៀបចំដោយមានលំនាំមីក្រូហ្វីលនៃការរចនាសៀគ្វីរចនា។ របាំងមុខនេះដើរតួជាប្លង់មេបើទោះបីជាមានទំហំតូចមួយទេដែលទំហំលក្ខណៈពិសេសអាចឈានដល់ការណាត់ជាន់ណ្ឌកំណត់។

2 ។ ថ្នាំលាបអ្នកថតរូប: ផ្ទៃនៃវ៉ាលីលីកុនត្រូវបានស្រោបរាបស្មើរដោយស្រទាប់នៃកម្មវិធីថតចម្លង - ជាសម្ភារៈដែលរសាត់ដែលផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់វានៅពេលប៉ះពាល់ដល់ពន្លឺ។

3 ។ ការប៉ះពាល់: ដោយប្រើរលកពន្លឺជាក់លាក់នៃពន្លឺម៉ាស៊ីនលីលីពូសបានបង្ហាញពីលំនាំពីរបាំងលើស្រទាប់អ្នកថតរូប។ តំបន់ដែលមិនត្រូវបានការពារដោយម៉ាសដែលឆ្លងកាត់ការផ្លាស់ប្តូរគីមីដោយសារតែការប៉ះពាល់ពន្លឺ។

4 ។ ការអភិវឌ្ឍ: បន្ទាប់ពីការប៉ះពាល់នឹងដំណោះស្រាយអ្នកអភិវឌ្ឍន៍ត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីលុបផ្នែកដែលផ្លាស់ប្តូររបស់អ្នកថតរូបដែលបន្សល់ទុកនូវរូបភាពជួយសង្គ្រោះនៃការរចនានៅមណ្ឌល។

5 ។ ការផ្សារភ្ជាប់និងការសំអាត: ជំហានចុងក្រោយពាក់ព័ន្ធនឹងស៊ីលីខននៅតំបន់ដែលលាតត្រដាងដោយអ្នកថតរូបដែលបានអភិវឌ្ឍឡើងអមដោយការសម្អាតយ៉ាងហ្មត់ចត់ដើម្បីរៀបចំសៅហ្មងសម្រាប់ស្រទាប់ឬដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់។

ប្រភេទនៃម៉ាស៊ីនលីចូម

Lithoup Machnines មានទម្រង់ផ្សេងៗគ្នាដែលនីមួយៗត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃការផលិតបន្ទះឈីប:

លីចូលជិត: ប្រើម៉ាសបិទមួយដែលដាក់នៅជិតវ៉ាហ្វីហ្វឺរដោយគ្មានការទាក់ទងដោយផ្ទាល់ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានលំនាំដែលត្រូវបានបោះពុម្ពតាមរយៈភាពខុសគ្នា។

ទំនាក់ទំនងលីចូមៈពាក់ព័ន្ធនឹងការចុចរបាំងដោយផ្ទាល់ប្រឆាំងនឹងការថតរូបវឺរណឺរ, ផ្ទេរលំនាំតាមរយៈទំនាក់ទំនងតាមរយៈទំនាក់ទំនង។

The Stepper និងម៉ាស៊ីនស្កេន Lithogography: ម៉ាស៊ីនទំនើបទាំងនេះប្រើកែវថតបន្ថែមទៀតដើម្បីបង្កើតនូវរបាំងនៃរបាំងនៃ Wafer ផងដែរ។

បច្ចេកវិទ្យាអ៊ីយូវី (Ultraviolet ចុងក្រោយ): បច្ចេកវិទ្យាចុងក្រោយបំផុតនៅក្នុងលីតធូម្យូមដោយប្រើក្រុមហ៊ុន EUV Light ដើម្បីសម្រេចបាននូវដំណោះស្រាយនៅអនុកម្រិត 10nm ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការផលិតអ្នកជំនាញផ្នែកមីក្រូវ៉េវជំនាន់ថ្មី។

សារៈសំខាន់ក្នុងបច្ចេកវិទ្យាទំនើប

Lithoup Mauldines គឺសំខាន់ក្នុងការជឿនលឿននៃបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិចដែលធ្វើឱ្យខ្នាតតូចនៃគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចនិងការវិវត្តនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានឥទ្ធិពលមានប្រសិទ្ធភាពនិងចំណាយកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាព។ នៅពេលដែលតម្រូវការនៃការអនុវត្តខ្ពស់និងកត្តាប្រភេទតូចៗនៅតែបន្តកើនឡើងដូច្នេះសារៈសំខាន់នៃម៉ាស៊ីនទំនើបទាំងនេះក្នុងការជំរុញព្រំដែននៃការផលិតអេឡិចត្រូនិចដែលអាចធ្វើទៅបាននៅក្នុងការផលិតអេឡិចត្រូនិចដែលអាចធ្វើទៅបាននៅក្នុងការផលិតអេឡិចត្រូនិច។

ការវិវឌ្ឍន៍នៃម៉ាស៊ីនលីចូមគឺមានន័យដូចនឹងវឌ្ឍនភាពនៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកការបើកបរការច្នៃប្រឌិតនៅតាមវាលស្រែរាប់ចាប់ពីអេឡិចត្រូនិចរបស់អតិថិជនរហូតដល់ការរុករកអវកាស។ តួនាទីរបស់ពួកគេមិនអាចត្រូវបានគេហួសកំរិតនៅក្នុងក្រណាត់នៃការជឿនលឿនខាងបច្ចេកវិទ្យាទំនើបដែលបានបម្រើនៅពេលវីរបុរសមិនត្រឹមត្រូវនៅពីក្រោយឆាកក្នុងការបង្កើតពិភពឌីជីថលយើងរស់នៅសព្វថ្ងៃនេះ។