ເບິ່ງ: 0 ຜູ້ຂຽນ: Shenzhen Xin Guanghui Co. , Ltd ເຜີຍແຜ່ທີ່ໃຊ້ເວລາ: 2024-07-31 ຕົ້ນກໍາເນີດ: ສະຖານທີ່
ເຄື່ອງຈັກສໍາຜັດ: ເວດມົນທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງການຜະລິດ semiconductor
ໃນໂລກທີ່ເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງເຄື່ອງຈັກຜະລິດ semiconductor, ເຄື່ອງຈັກ lithography ຢືນຢູ່ໃນລະບົບແມ່ມົດ, ການສະກົດຄໍາທີ່ມີຮູບແບບວົງຈອນ minuscule minuscule minuscule minuscule minuscule minuscule minuscule minuscule minuscle minuscle minuscle minuscule minuscule minuscule minuscule minuscle minuscupe minuscule minuscule minuscule minuscuit ເຕັກໂນໂລຢີ lithographic ນີ້ແມ່ນຫນຶ່ງໃນບັນດາຂັ້ນຕອນທີ່ສັບສົນແລະສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນການປະດິດແບບຂອງວົງຈອນ (IC) ທີ່ມີການປະຕິບັດໂດຍກົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊິບອີເລັກໂທຣນິກ. ໃຫ້ຂອງ delve ເຂົ້າໄປໃນການເຮັດວຽກ, ປະເພດ, ແລະຄວາມສໍາຄັນຂອງເຄື່ອງ Lithography ໃນເທັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ.
ວິທີການເຄື່ອງຈັກ lithography ເຮັດວຽກ
ໃນຈຸດໃຈກາງຂອງເຄື່ອງຫມາຍທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການໂອນວົງຈອນທີ່ເຂັ້ມຂົ້ນລົງໃສ່ຊິລິໂຄນທີ່ມີທາດຊິລິໂຄນທີ່ເຄືອບດ້ວຍຮູບຖ່າຍໂດຍຜ່ານຮູບຖ່າຍ. ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບຫຼາຍບາດກ້າວສໍາຄັນ:
1. ການກະກຽມຫນ້າກາກ: A reticle ຫຼື Mask ແມ່ນກຽມພ້ອມ, ໃສ່ຮູບແບບ microfine ຂອງການອອກແບບວົງຈອນ. ຫນ້າກາກນີ້ເຮັດຫນ້າກາກ, ໃຫ້ບໍລິການໃນລະດັບນາທີທີ່ເປັນພິເສດ, ບ່ອນທີ່ມີຂະຫນາດທີ່ມີເນື້ອທີ່ສາມາດບັນລຸ nanometers.
2. 2. ດ້ານໃນການເຄືອບຂອງ Silicon Wafer ແມ່ນເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງຊ່າງແຕ້ມຮູບທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວທີ່ປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດຂອງມັນ.
3. ການສະແດງ: ການໃຊ້ລະດັບຄວາມຍາວຂອງແສງສະເພາະ, ເຄື່ອງຫມາຍຫມາຍເຖິງໂຄງການຈາກຫນ້າກາກຂອງຮູບທີ່ໃສ່ໃນຊັ້ນຂອງຊ່າງຖ່າຍຮູບ. ພື້ນທີ່ທີ່ບໍ່ໄດ້ປົກປ້ອງຈາກຫນ້າກາກໄດ້ຜ່ານການປ່ຽນແປງທາງເຄມີຍ້ອນການສໍາຜັດກັບແສງສະຫວ່າງ.
4. ການພັດທະນາ: ຫຼັງຈາກການສໍາຜັດ, ການແກ້ໄຂບັນດານັກພັດທະນາໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກໍາຈັດສ່ວນທີ່ປ່ຽນແປງຂອງຊ່າງປັ້ນຂອງຮູບພາບການບັນເທົາທຸກຂອງການອອກແບບວົງຈອນ.
5. Etching ແລະທໍາຄວາມສະອາດ: ຂັ້ນຕອນສຸດທ້າຍກ່ຽວຂ້ອງກັບການສະສົມນ້ໍາໃນບໍລິເວນທີ່ມີການພັດທະນາ, ປະຕິບັດຕາມໂດຍການເຮັດຄວາມສະອາດຢ່າງລະອຽດໃນການກະກຽມ wafer ຫຼືການປຸງແຕ່ງ.
ປະເພດຂອງເຄື່ອງຈັກ lithography
ເຄື່ອງ Lithography ມາໃນຮູບແບບຕ່າງໆ, ແຕ່ລະອັນທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບໄລຍະທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງການຜະລິດຊິບ:
lithography teximity: ນໍາໃຊ້ຫນ້າກາກທີ່ວາງໄວ້ໃກ້ກັບ wafer ໂດຍບໍ່ມີການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງ, ອະນຸຍາດໃຫ້ມີຮູບແບບທີ່ຈະຖືກພິມໂດຍຜ່ານການແຜ່ກະຈາຍ.
ຕິດຕໍ່ Lithography: ກ່ຽວຂ້ອງກັບການກົດປຸ່ມຫນ້າກາກໂດຍກົງກັບເຄື່ອງປະດັບທີ່ເຄືອບຮູບພາບ, ການໂອນຮູບແບບໂດຍຜ່ານການຕິດຕໍ່.
Stepper ແລະ SCANNER LEWHATY: ເຄື່ອງຈັກທີ່ກ້າວຫນ້າເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ເລນການພິຈາລະນາເພື່ອສ້າງຮູບແບບຫນ້າກາກຫຼາຍ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນຮູບແບບຂອງ Wafer, ຫຼືໂດຍການສະແກນຫນ້າກາກແລະ wafer ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.
EUV Lithography (Ultraviolet ທີ່ສຸດ): ເຕັກໂນໂລຢີລ້າສຸດໃນ Lithography
ຄວາມສໍາຄັນໃນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ
ເຄື່ອງຈັກ Lithography ແມ່ນມີຄວາມຄືບຫນ້າໃນການກ້າວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຢີ semiconductor, ເຮັດໃຫ້ມີສ່ວນປະກອບອີເລັກໂທຣນິກແລະມີປະສິດທິພາບສູງ, ແລະມີປະສິດທິພາບ, ແລະມີປະສິດທິພາບ, ແລະມີປະສິດທິພາບ, ແລະອຸປະກອນອີເລັກໂທຣນິກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ໃນຖານະເປັນຄວາມຕ້ອງການການປະຕິບັດທີ່ສູງກວ່າແລະປັດໄຈຮູບແບບຂະຫນາດນ້ອຍສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ, ສະນັ້ນຄວາມສໍາຄັນຂອງເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມຊັບຊ້ອນເຫຼົ່ານີ້ໃນການຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງສິ່ງທີ່ເປັນໄປໄດ້ໃນການຜະລິດເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າ.
ວິວັດທະນາການຂອງເຄື່ອງ Lithography ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບຄວາມຄືບຫນ້າຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ຂັບລົດປະດິດສ້າງໃນອຸປະກອນເສີມເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າເພື່ອການສໍາຫຼວດອະວະກາດ. ບົດບາດຂອງພວກເຂົາບໍ່ສາມາດເປັນສິ່ງທີ່ເຫລືອຢູ່ໃນຜ້າຂອງຄວາມກ້າວຫນ້າທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ, ຮັບໃຊ້ເປັນວິລະຊົນທີ່ບໍ່ດີທີ່ສຸດໃນການສ້າງໂລກດິຈິຕອນພວກເຮົາອາໄສຢູ່ໃນມື້ນີ້.