காட்சிகள்: 0 ஆசிரியர்: ஷென்சென் ஜின் குவாங்யூய் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் வெளியீட்டு நேரம்: 2024-07-31 தோற்றம்: தளம்
வெளிப்பாடு இயந்திரங்கள்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் பின்னால் உள்ள மந்திரம்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் சிக்கலான உலகில், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் மந்திரவாதிகளாக நிற்கின்றன, இணையற்ற துல்லியத்துடன் சிலிக்கான் செதில்களில் மினுசூல் சர்க்யூட் வடிவங்களை பொறிக்கும் மந்திரங்களை அனுப்புகின்றன. இந்த லித்தோகிராஃபிக் தொழில்நுட்பம் ஒருங்கிணைந்த சுற்று (ஐசி) புனையலில் மிகவும் சிக்கலான மற்றும் முக்கியமான படிகளில் ஒன்றாகும், இது மின்னணு சில்லுகளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. நவீன தொழில்நுட்பத்தில் லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் செயல்பாடுகள், வகைகள் மற்றும் முக்கியத்துவத்தை ஆராய்வோம்.
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் எவ்வாறு செயல்படுகின்றன
ஒரு லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் இதயத்தில் சிக்கலான சுற்று வடிவமைப்புகளை ஒளிச்சேர்க்கை மூலம் ஒளிச்சேர்க்கையாளருடன் பூசப்பட்ட சிலிக்கான் செதில் மாற்றும் திறன் உள்ளது. இந்த செயல்முறை பல முக்கிய படிகளை உள்ளடக்கியது:
1. முகமூடி தயாரிப்பு: சுற்று வடிவமைப்பின் மைக்ரோஃபைன் வடிவத்தைத் தாங்கி, ஒரு ரெட்டிகல் அல்லது முகமூடி தயாரிக்கப்படுகிறது. இந்த முகமூடி ஒரு வரைபடமாக செயல்படுகிறது, அசாதாரணமான நிமிட அளவில் இருந்தாலும், அம்ச அளவுகள் நானோமீட்டர்களுக்கு அடையலாம்.
2. ஒளிச்சேர்க்கை பூச்சு: சிலிக்கான் செதிலின் மேற்பரப்பு ஒளிச்சேர்க்கையின் ஒரு அடுக்குடன் சமமாக பூசப்பட்டுள்ளது-இது ஒரு ஒளி உணர்திறன் கொண்ட பொருள், இது ஒளியை வெளிப்படுத்தும்போது அதன் பண்புகளை மாற்றுகிறது.
3. வெளிப்பாடு: ஒளியின் ஒரு குறிப்பிட்ட அலைநீளத்தைப் பயன்படுத்தி, லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் முகமூடியிலிருந்து ஒளிச்சேர்க்கை அடுக்கில் வடிவத்தை திட்டமிடுகிறது. முகமூடியால் பாதுகாக்கப்படாத பகுதிகள் ஒளி வெளிப்பாடு காரணமாக ரசாயன மாற்றங்களுக்கு உட்படுகின்றன.
4. அபிவிருத்தி: வெளிப்பாட்டிற்குப் பிறகு, ஒளிச்சேர்க்கையாளரின் மாற்றப்பட்ட பகுதிகளை அகற்ற ஒரு டெவலப்பர் தீர்வு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது சுற்று வடிவமைப்பின் நிவாரணப் படத்தை விட்டுச் செல்கிறது.
5. பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்தல்: இறுதி கட்டத்தில் வளர்ந்த ஒளிச்சேர்க்கையாளரால் அம்பலப்படுத்தப்பட்ட பகுதிகளில் சிலிக்கானை வெளியேற்றுவது அடங்கும், அதன்பிறகு அடுத்தடுத்த அடுக்குகள் அல்லது செயலாக்கத்திற்கான செதிலைத் தயாரிக்க முழுமையான சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் வகைகள்
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் பல்வேறு வடிவங்களில் வருகின்றன, ஒவ்வொன்றும் சிப் உற்பத்தியின் வெவ்வேறு கட்டங்களுக்கு உகந்ததாகும்:
அருகாமையில் லித்தோகிராபி: நேரடி தொடர்பு இல்லாமல் செதிலுக்கு மிக நெருக்கமாக வைக்கப்பட்டுள்ள ஒரு முகமூடியைப் பயன்படுத்துகிறது, இது வடிவத்தை வேறுபாடு மூலம் பதிக்க அனுமதிக்கிறது.
தொடர்பு லித்தோகிராஃபி: முகமூடியை நேரடியாக ஒளிச்சேர்க்கை-பூசப்பட்ட செதிலுக்கு எதிராக அழுத்துவதும், தொடர்பு வழியாக வடிவத்தை மாற்றுவதும் அடங்கும்.
ஸ்டெப்பர் மற்றும் ஸ்கேனர் லித்தோகிராபி: இந்த மேம்பட்ட இயந்திரங்கள் ஒரு படி மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் பாணியில் (ஸ்டெப்பர்) அல்லது முகமூடி மற்றும் செதில் (ஸ்கேனர்) தொடர்ந்து ஸ்கேன் செய்வதன் மூலம், செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் முகமூடி வடிவத்தின் பல நகல்களை உருவாக்க குறைக்கப்பட்ட திட்ட லென்ஸைப் பயன்படுத்துகின்றன.
ஈ.யூ.வி லித்தோகிராபி (எக்ஸ்ட்ரீம் புற ஊதா): லித்தோகிராஃபியில் சமீபத்திய தொழில்நுட்பம், துணை -10 என்எம் அளவில் தீர்மானங்களை அடைய ஈ.யூ.வி ஒளியைப் பயன்படுத்தி, அடுத்த தலைமுறை நுண்செயலிகளின் உற்பத்திக்கு அவசியம்.
நவீன தொழில்நுட்பத்தில் முக்கியத்துவம்
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்தில் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை, இது மின்னணு கூறுகளின் மினியேட்டரைசேஷனை செயல்படுத்துகிறது மற்றும் அதிக சக்திவாய்ந்த, திறமையான மற்றும் செலவு குறைந்த மின்னணு சாதனங்களின் வளர்ச்சியை செயல்படுத்துகிறது. அதிக செயல்திறன் மற்றும் சிறிய வடிவ காரணிகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருவதால், மின்னணுவியல் உற்பத்தியில் சாத்தியமானவற்றின் எல்லைகளைத் தள்ளுவதில் இந்த அதிநவீன இயந்திரங்களின் முக்கியத்துவமும் உள்ளது.
லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் பரிணாமம் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் முன்னேற்றத்திற்கு ஒத்ததாக இருக்கிறது, நுகர்வோர் மின்னணுவியல் முதல் விண்வெளி ஆய்வு வரையிலான துறைகளில் புதுமைகளை இயக்குகிறது. நவீன தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களின் துணிவில் அவற்றின் பங்கை மிகைப்படுத்த முடியாது, இன்று நாம் வசிக்கும் டிஜிட்டல் உலகத்தை உருவாக்குவதில் திரைக்குப் பின்னால் இல்லாத ஹீரோக்களாக பணியாற்றுகிறார்.